Hüperonüümid:
materjal 1(n)
fotoresist 1(n)

fotolitograafias kasutatav polümeerne valgustundlik materjal (VSL)

ILI-1.5 relation(s)

eq_involved

PWN-3.0 relation(s)

eq_has_holonym
photolithography 1(n) a planographic printing process using plates made from a photographic image