Hüperonüümid:
mikroskoop 1(n)
aatomijõumikroskoop 1(n), teravikmikroskoop 1(n)

Väga suure lahutusvõimega skaneeriv mikroskoop, milles pinda skaneerib terav otsak, mõõtes uuritava pinna elektronide kihi ja otsaku vahel mõjuvat jõudu.